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日本洁净室标准 JIS B 9920洁净度等级表
发布时间：2025-01-20 来源：维高净化 浏览次数：32
无尘室的应用，大致可分为二类，即工业用无尘室〈IndustrialCleanRoom〉简称ICR，和生化及医药用无尘室〈BiologicalCleanRoom〉简称BCR。
在工业用无尘室其清净度规格方面，有美国联邦标准规格FS209E〈U.SFederal Standard209E〉及日本国家标准JISB9920等多种参考规范。
在生化、医药用无菌室其要求规格有美国航空太空总署〈NASA〉规范〈NHB5340.2〉最为普遍。无尘室的设计通常依照使用需求情况加以检讨再决定采用何种规范作为基准。
 
JIS B 9920标准无尘等级的浓度上限 (pcs/m3)
粒径 无尘等级
(μm) class 1 class 2 class 3 class 4 class 5 class 6 class 7 class 8
0.1 101 102 103 104 105 (106) (107) (108)
0.2 2 24 236 2360 23600 ???? ???? ????
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (35) (0.3) 35 350 3500 55000 350000 3500000
5 ???? ???? ???? ???? 29 290 2900 29000
无尘等级 0.1～0.3 0.1～0.5 0.1～5.0 0.3～5.0
粒径范围
附注 1 第3A5,6,7和8级相当于美国联邦标准209D(无尘室和控制环境的工作站)相对的第1,100,1000,10000和100000。
2 浓度的上限代表等于或大于指定颗粒大小的洒度。
3 浓度的上限是指颗粒大小为0.1μm和0.5μm的量。
4 在括弧中的数字是指颗粒大小不同民指定大小的量,它们只供评估无尘等级和只当参考用而已。

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