测点
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第一次采样
|
第二次采样
|
第三次采样
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平均值(个/m3)
|
UCL值(个/m3)
|
|||||||
≥0.5um
|
≥5um
|
≥0.5um
|
≥5um
|
≥0.5um
|
≥5um
|
≥0.5um
|
≥5um
|
≥0.5um
|
≥5um
|
|
||
P1
|
81
|
4
|
44
|
5
|
125
|
12
|
2.94×104
|
2.47×103
|
3.31×105
|
5.03×104
|
||
P2
|
321
|
44
|
338
|
38
|
291
|
50
|
1.12×105
|
1.55×104
|
(1.38×1051.94×104)
|
|||
P3
|
181
|
17
|
231
|
12
|
120
|
15
|
6.27×104
|
5.18×103
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
测点
|
≥0.5um
|
≥5um
|
P1
|
5.36×104个/ m3
|
5.07×103个/ m3
|
P2
|
1.26×105个/ m3
|
1.91×104个/ m3
|
P3
|
9.58×104个/ m3
|
6.68×103个/ m3
|
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